大型风机微纳桨叶主动吸能减振节能法

摘要

大型风机微纳桨叶主动吸能减振节能法，其特征在于：采用电感耦合等离子体刻蚀工艺制备方法和反应性等离子体干刻蚀法对比制作出微纳米管簇阵列以研制仿生耦合结构的仿绒毛形变层。ICP技术是利用特殊气体对硅模板钝化及刻蚀，分为CRYO和BOSCH工艺。CRYO工艺是在-100℃以下，采用SF6/O2作为刻蚀气体，钝化和刻蚀同步进行。获得较大的深宽比、且侧壁十分光滑、表面无残留聚合物的效果。反应性等离子体干刻蚀法是先在硅片上制备一层微米级厚度的聚合物薄膜，用电子束对铝膜刻蚀，使其形成微结构阵列，再利用氧化铝与聚合物对氧等离子体的蚀刻速率的差异，用氧等离子体干蚀刻，使铝膜上的微结构转移复制到聚合物薄膜上。

主权项

大型风机微纳桨叶主动吸能减振节能法，其工艺步骤在于：采用电感耦合等离子体刻蚀工艺制备方法和反应性等离子体干刻蚀法对比制作出微纳米管簇阵列以研制仿生耦合结构的仿绒毛形变层；ICP技术是利用特殊气体对硅模板钝化及刻蚀，分为CRYO和BOSCH工艺；CRYO工艺是在‑100℃以下，采用SF6/O2作为刻蚀气体，钝化和刻蚀同步进行；反应性等离子体干刻蚀法是先在硅片上制备一层微米级厚度的聚合物薄膜，用电子束对铝膜刻蚀，使其形成微结构阵列，再利用氧化铝与聚合物对氧等离子体的蚀刻速率的差异，用氧等离子体干蚀刻，使铝膜上的微结构转移复制到聚合物薄膜上。