发明名称 Film thickness monitoring apparatus
摘要
申请公布号 US3400687(A) 申请公布日期 1968.09.10
申请号 US19660530190 申请日期 1966.02.25
申请人 SYLVANIA ELECTRIC PRODUCTS INC. 发明人 LUECK ARTHUR M.
分类号 C23C14/54;G01B11/06 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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