发明名称 |
Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen von mindestens zwei Halbleiterbauelementen aus einem scheibenfoermigen Halbleiterkristall |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1278018(B) |
申请公布日期 |
1968.09.19 |
申请号 |
DE1964S093036 |
申请日期 |
1964.09.09 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
GRASSER DIPL.-PHYS. LEO;GUECKEL DIPL.-PHYS. HELMUT |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/78;H01L29/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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