发明名称 Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen von mindestens zwei Halbleiterbauelementen aus einem scheibenfoermigen Halbleiterkristall
摘要
申请公布号 DE1278018(B) 申请公布日期 1968.09.19
申请号 DE1964S093036 申请日期 1964.09.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRASSER DIPL.-PHYS. LEO;GUECKEL DIPL.-PHYS. HELMUT
分类号 H01L21/00;H01L21/78;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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