具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置

摘要

本发明提供一种具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置，所述喷嘴唇口清洗装置在进行用于制造平板显示元件用基板的光刻胶等药液涂覆工艺之后，可以有效去除狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)上粘附的药液或者异物、并可以减少清洗液使用量。本发明包括：工作台；狭缝喷嘴，其设置在所述工作台上部，用于涂敷药液；移动单元，用于移动所述狭缝喷嘴或基板；唇口清洗单元，其将由清洗液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口上并进行清洗；唇口干燥单元，其将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口；以及驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，用于移动所述唇口清洗单元及所述干燥单元。

主权项

一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，包括：工作台；狭缝喷嘴，其设置在所述工作台上部，用于涂敷药液；移动单元，其用于移动所述狭缝喷嘴或基板；喷嘴唇口清洗装置，其包括壳体；固定台，其与所述壳体相结合；唇口清洗单元，其与所述固定台相结合，将由清洗液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口并对其进行清洗；唇口干燥单元，其与所述固定台相结合，将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口；以及驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，并与所述壳体相结合，用于移动所述唇口清洗单元及所述唇口干燥单元。