发明名称 |
锇膜的电镀制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种厚度在1微米以上的锇膜及其制造方法。该方法通过在玻璃基片上用PVD法镀铬膜,再在铬膜上用PVD法镀一层导电系数高、化学稳定性好的金膜,然后在金膜上电镀锇膜而成。电镀分次进行、从而使锇膜厚度达到1微米以上。本发明的锇膜可用于制备空间原子氧环境探测器,解决了传统的PVD方法淀积锇膜容易发生开裂现象以及锇层镀不厚问题。 |
申请公布号 |
CN102453932A |
申请公布日期 |
2012.05.16 |
申请号 |
CN201010517810.6 |
申请日期 |
2010.10.25 |
申请人 |
北京卫星环境工程研究所 |
发明人 |
刘向鹏;童靖宇;李涛;姜海富;赵雪;贾铮 |
分类号 |
C25D3/54(2006.01)I;C25D17/10(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I |
主分类号 |
C25D3/54(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种锇膜,所述锇膜以玻璃基片为衬底,其上用PVD法镀铬层,铬层上用PVD法镀金层,然后在金层上电镀锇膜,其中,锇膜的厚度在1微米以上。 |
地址 |
100094 北京市海淀区友谊路104 |