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发明名称 VERFAHREN ZUM HOCHAUFLÖSENDEN ÄTZEN DÜNNER SCHICHTEN MITTELS ELEKTRONENSTRAHLEN
摘要
申请公布号 AT556355(T) 申请公布日期 2012.05.15
申请号 AT20040764051T 申请日期 2004.08.12
申请人 NAWOTEC GMBH 发明人 KOOPS, HANS;EDINGER, KLAUS;BABIN, SERGEY;HOFMANN, THORSTEN;SPIES, MARIA
分类号 G03F1/74;C23F4/00;G03F1/00;H01J37/305;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 G03F1/74
代理机构 代理人
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