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发明名称
VERFAHREN ZUM ÄTZEN VON MERKMALEN MIT HOHEM STRECKUNGSVERHÄLTNIS
摘要
申请公布号
AT557418(T)
申请公布日期
2012.05.15
申请号
AT20020773707T
申请日期
2002.10.31
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
MOSDEN, AELAN;HYLAND, SANDRA;KAJIMOTO, MINORI
分类号
H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/67
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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