发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERSUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT555505(T) 申请公布日期 2012.05.15
申请号 AT20090715749T 申请日期 2009.02.26
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 DROUIN, ALEXIS;ASPAR, BERHARD;DESRUMEAUX, CHRISTOPHE;LEDOUX, OLIVIER;FIGUET, CHRISTOPHE
分类号 H01L31/18;H01L27/146 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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