发明名称 DRUCKVORRICHTUNG MIT UNABHÄNGIG BETÄTIGTEN SEPARABLEN MODULEN
摘要
申请公布号 AT556356(T) 申请公布日期 2012.05.15
申请号 AT20050726431T 申请日期 2005.01.27
申请人 KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 发明人 LEE, JAE-JONG;CHOI, KEE-BONG;KIM, GEE-HONG;CHUNG, KWANG-JO
分类号 G03F7/00;H01L21/027;B29C33/30;B29C59/02;B41N3/00;B41N3/03;B41N3/04;B41N3/08;B81C99/00;B82Y10/00;G03B17/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
地址