摘要 |
一种半导体封装件制法,系提供一具有多数个开口之承载件与复数基板,各该基板上依序接置有覆晶式半导体晶片及散热件,其中该基板尺寸约等于封装件预定尺寸,该散热件尺寸小于该基板尺寸,以将该基板定位于承载件开口中,接着于开口上形成包覆该晶片及散热件的封装胶体,其中该封装胶体所覆盖面积大于该开口尺寸,并进行脱模步骤及利用雷射移除覆盖于该散热件上之封装胶体,再沿该基板边缘进行切割以制得复数半导体封装件,俾使封装胶体直接包覆该覆晶式半导体晶片及散热件,并利用雷射移除覆盖于该散热件上方之封装胶体,以有效逸散晶片热量,避免知机械研磨或化学蚀刻方式移除封装胶体导致晶片毁损问题,同时减少切割刀具通过散热件所造成磨损问题。 |