表面声波元件及其制作方法

摘要

一种表面声波元件，其包括一压电基板，一第一换能器及一第二换能器，该第一换能器与该第二换能器设于该压电基板上，且该第一换能器与该第二换能器声耦合；其中，至少一换能器包括二电极，该二电极相互并列围成螺旋状。相较知技术，本表面声波元件之电极交互围绕成一螺旋状，因而其重叠长度长，可有效降低插入损耗。另，螺旋状之电极之长短、宽度及间距等参数，可在设计上不断变化，从而控制表面声波元件之插入损耗、频宽及表面声波速度等参数，从而提高表面声波元件及其应用系统之设计自由度。