增加使用离子束之照射系统中低能量射束电流之方法

摘要

一种根据本发明增加使用离子束之照射系统中低能量射束电流之方法系应用于使用离子束的照射系统，该使用离子束的照射系统包含射束产生源、质量分析装置、射束变压器，扫描用之偏转器、射束平行化装置、加速/减速装置、以及能量过滤装置。该射束变压器包含垂直聚焦DC四极电磁QD及水平聚焦DC四极电磁QF。在扫描的偏转之后，该射束变压器将从具有圆形横剖面或椭圆形或卵形横剖面之射束转换成具有在扫描方向是长的椭圆形或卵形横剖面之射束。