离子植入系统之离子束入射角侦测器

摘要

本发明系利于半导体装置制造，其乃藉着经由一种离子束入射角侦测器而监视及修正于离子植入程序期间的角度误差。此外，本发明系利于半导体装置制造，其乃藉着在离子植入制程之前对于一入射离子束来校准一制程碟，而无须测量于晶圆的植入结果。