线内式处理装置

摘要

本发明系提供一种线内式处理装置，系在短时间内对基板进行均匀的温调者。;该线内式处理装置，系在由多数条连续型滚木2构成的搬送线1下方配置温度调整手段3。温度调整手段3系由以下构件所构成：配置于连续型滚木2、2间的两条温调液体喷出喷嘴4、以及供给该嘴4已温调的液体(显影液或水)之冰水主机5。在温调液体喷出喷嘴4的上面形成有朝向玻璃基板W的背面喷出温调液体之缝隙4a，该缝隙4a的长度设定为与玻璃基板W的宽度大致相等。