发明名称 Tratamiento de DLC con haz de iones de oxígeno y agua caliente
摘要 Un método para reducir el ángulo de contacto 8 de una capa de carbono tipo diamante (DLC), el método comprendiendo: depositar una capa que comprende carbono de tipo diamante (DLC) sobre un sustrato de cristal; caracterizado por proporcionar un gas que comprende oxígeno en al menos una fuente de iones; y tratar con haz de iones la capa que comprende DLC usando al menos la fuente de iones con el gas en ella y que comprende además tratar la capa que comprende DLC con un líquido y/o vapor que comprende H2O a una temperatura de al menos 50 grados C para provocar que se reduzca un ángulo de contacto 8 de la capa que comprende DLC en al menos aproximadamente un 5%.
申请公布号 ES2380363(T3) 申请公布日期 2012.05.11
申请号 ES20040720346T 申请日期 2004.03.12
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 BIENKIEWICZ, JOSEPH;GORDON, JEFFREY;VEERASAMY, VIJAYEN;THOMSEN, SCOTT
分类号 C23C16/56;C03C;C03C17/22;C03C17/34;C03C17/36;C23C16/26 主分类号 C23C16/56
代理机构 代理人
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