| 发明名称 |
COMPOUND |
| 摘要 |
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compound usable for preparing a resist composition. <P>SOLUTION: The compound is expressed by formula (A-1). <P>COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT |
| 申请公布号 |
JP2012087143(A) |
申请公布日期 |
2012.05.10 |
| 申请号 |
JP20120002180 |
申请日期 |
2012.01.10 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
SHIONO HIROHISA;HIRAYAMA HIROSHI;HANEDA HIDEO |
| 分类号 |
C07C69/712;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
C07C69/712 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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