| 摘要 |
Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung von Verunreinigungen in Silicium, bei dem aus einem zu untersuchenden Silicium mittels Zonenziehen ein monokristalliner Stab erzeugt wird; dieser monokristalline Stab in wenigstens einem Verdünnungsschritt in eine Hülse aus mono- oder polykristallinem Silicium mit definierter Kohlenstoff- und Dotierstoffkonzentration eingebracht und aus Stab und Hülse mittels Zonenziehen ein verdünnter monokristalliner Stab aus Silicium erzeugt wird; wobei anhand eines verdünnten monokristallinen Stabes eine Bestimmung der Verunreinigungen im zu untersuchenden Silicium mittels Photolumineszenz oder FTIR oder beiden vorgenommen wird. |
