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发明名称
СПОСОБ СОЗДАНИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ
摘要
申请公布号
RU1069571(C)
申请公布日期
2012.05.10
申请号
SU19823439333
申请日期
1982.05.14
申请人
Физико-технический институт АН БССР
发明人
Гурский Л.И.;Заико А.Ф.;Румак Н.В.;Снитовский Ю.П.;Тарасевич А.И.
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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