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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE WITH RAPID TEMPERATURE CHANGE
摘要
申请公布号 KR20120046733(A) 申请公布日期 2012.05.10
申请号 KR20127003248 申请日期 2007.09.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BOUR DAVID;WASHINGTON LORI D.
分类号 H01L21/20;H01L21/683 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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