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发明名称 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
摘要
申请公布号 RU1459539(C) 申请公布日期 2012.05.10
申请号 SU19874173391 申请日期 1987.01.05
申请人 Физико-технический институт АН БССР 发明人 Гурский Л.И.;Снитовский Ю.П.;Сенько С.Ф.
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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