RADIATING ELEMENT FOR IRRADIATING SURFACES, HAVING A SOCKET

摘要

Für die Bestrahlung von Oberflächen wird ein Strahler (1) mit einem Sockel (8) vorgeschlagen, wobei der Sockel mindestens eine Gasöffnung (12) für die Zufuhr eines Prozessgases in einen dem Strahlergefäß (2, 3, 5) benachbarten Raumbereich aufweist. Dadurch kann auf eine separate Gaszufuhrvorrichtung verzichtet werden. Optional kann auch das Strahlergefäß (2, 3, 5) eine tunnelartige Durchgangsöffnung (3) für die Zu- oder Abfuhr von Prozessgas aufweisen.