| 摘要 |
Чувствительный элемент датчика давления, содержащий мембрану из пьезоэлектрического материала, жестко скрепленную с основанием через прокладку с образованием между мембранной и основанием герметичной вакуумированной полости, резонатор на поверхностно-акустических волнах (ПАВ) расположен на мембране, контакты от ПАВ-резонатора выведены из вакуумированной полости наружу нанесенными на мембрану высокочастотными электродами, согласованными с антенной в полосе частот отклика ПАВ-резонатора, отличающийся тем, что мембрана выполнена плоской, в центре мембраны на ее внутреннюю поверхность нанесен барочувствительный ПАВ-резонатор, ориентированный вдоль кристаллографической оси мембраны, дополнительный термочувствительный ПАВ-резонатор нанесен на внутреннюю поверхность мембраны, по окружности минимальных деформаций мембраны и ориентированый под углом 60÷120° к барочувствительному ПАВ-резонатору, при этом барочувствительный и термочувствительный ПАВ-резонаторы внутри вакуумированной полости соединены между собой параллельно и через высокочастотные электроды подсоединены коаксиальным кабелем к антенне. |
