一种用于超精密定位的三自由度微操作正交并联工作台

摘要

本发明公开一种用于超精密定位的三自由度微操作正交并联工作台，实现空间三维平动超精密定位；具有静平台和动平台，在静平台的每块面板上均垂直固设一个压电陶瓷驱动器，每个压电陶瓷驱动器的驱动均连接一个支链的顶端，每个支链的末端均垂直连接动平台；三条支链均由柔性的移动副、平行四边形结构、第一转动副和第二转动副按照轴线之间垂直、垂直、平行的位置关系依次串联连接而成；每个支链的顶端均是移动副，每个支链的末端均是第二转动副，三个移动副相互正交，三个第二转动副相互正交；本发明结合了并联机构和柔性运动副的优点，依靠自身的弹性变形来产生运动，输出达到微米甚至纳米级的高精度。

主权项

一种用于超精密定位的三自由度微操作正交并联工作台，具有静平台和动平台，静平台由三块正交的面板组成，其特征是：在静平台的每块面板上均垂直固设一个压电陶瓷驱动器，每个压电陶瓷驱动器的驱动均连接一个支链的顶端，每个支链的的末端均垂直连接动平台；三条所述支链均由柔性的移动副、平行四边形结构、第一转动副和第二转动副按照轴线之间垂直、垂直、平行的位置关系依次串联连接而成；每个支链的顶端均是移动副，每个支链的末端均是第二转动副，三个所述移动副相互正交，三个所述第二转动副相互正交。