多栅极晶体管制作方法及系统

摘要

本发明公开了多栅极晶体管制作方法及系统，以提高多栅极晶体管的性能。所述晶体管的各个栅极对应有各自的栅电介质层，该方法包括：当在制作当前栅电介质层和制作下一个栅电介质层之间，有多个能够用于清除相同待清除物质的清除流程时，采用所述多个清除流程中的部分清除流程，清除所述待清除物质；所述多个清除流程中，除所述部分清除流程外的其他清除流程，对各自后续流程的执行效果的影响能够忽略。

主权项

一种多栅极晶体管的制作方法，所述晶体管的各个栅极对应有各自的栅电介质层；在制作当前栅电介质层和制作下一个栅电介质层之间，有多个能够用于清除相同待清除物质的清除流程；其特征在于，该制作方法包括：采用所述多个清除流程中的部分清除流程，清除所述待清除物质，所述多个清除流程中，除所述部分清除流程外的其他清除流程，对各自后续流程的执行效果的影响能够忽略。