涂浆装置及涂浆方法

摘要

本发明提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。

主权项

一种涂浆装置，在支承台上设置门形架，该门形架能够移动地设置了1个或多个涂敷头，该涂敷头具有充填了浆料的浆料收容筒和从该浆料收容筒排出浆料的喷嘴排出口，在设置于该支承台上的基板载置台上搭载基板，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：该基板载置台是设置了多个吸附孔的内部为空洞部的多个第1构件和多个第2构件正交地组合而构成井形架形的结构的台，具有多个XYθ轴移动机构，在该基板载置台的中心部用旋转构件支承，在该基板载置台的中心部以外的该第1构件和该第2构件的正交位置用组合了旋转构件和正交轴承的多个移动构件支承，一边旋转一边进行XY轴方向移动，从而使该基板载置台移动及旋转，对载置在该基板载置台上的该基板的位置、姿势进行调整。