一种非接触式超声波面形修抛方法及装置

摘要

本发明涉及小口径脆性高硬度材料的高精度非球面超声波抛光方法，公开了一种非接触式超声波面形修抛方法及其装置。本发明利用圆形振子产生的超声简谐振动在液体中的传播特性对脆性硬质合金材料进行抛光，能够获得高斯型分布的、稳定的材料去除函数。设定覆盖整个被加工表面的抛光路径后，依据所得到的材料去除函数和被加工面的残余误差确定工具头在抛光路径上各点的驻留时间，编制加工程序，输入数控机床，进行修抛加工。本发明结合数控技术对表面不同区域实现材料去除量的精确控制，可以对各种平面、球面、非球面等光学表面进行面形修正抛光，获得高面形精度的光学表面。

主权项

一种非接触式超声波面型修抛方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)对被加工表面进行非接触式超声波面型修抛加工，检测修抛区域内的材料去除分布，得到被加工材料单点呈高斯型分布的去除函数；所述的非接触式超声波面型修抛加工为：工具头工作面和被加工表面之间充满抛光液，并保持工具头工作面和被加工表面间的间隔距离恒定；(2)设定覆盖整个被加工表面的修抛路径；(3)依据所得到的材料去除函数和被加工面的残余误差，确定工具头在修抛路径上各点的驻留时间；(4)依据修抛路径及路径上各点的驻留时间，编制加工程序，输入数控加工系统，对被加工表面进行非接触式超声波面型修抛加工；(5)检测修抛后的面形，若未达到要求，则重复步骤(2)～(4)，直至得到满足要求的面形。