多晶硅生长视频监测装置

摘要

本发明公开一种多晶硅生长视频监测装置，该装置包括：摄像机，布置在多晶硅还原炉外围，其镜头对应还原炉的视窗，用于摄取硅芯图像；视频处理器，用于处理硅芯图像，计算硅芯直径；显示器，用于显示硅芯图像、硅芯直径计算值及各种数据。所述视频处理器具有视频采集模块，用于采集来自摄像机的图像数据；存储模块，用于存储采集数据、硅芯直径计算数学模型及输出数据；处理器，用于根据图像数据、硅芯直径计算数学模型计算硅芯直径。用本装置可连续准确地测量硅芯直径的实时数据，生成直径-时间生长曲线，再结合温度测试数据，进一步建立原料气加入量和加热电压随硅芯直径增长的数学模型，最终实现多晶硅生产的自动控制。

主权项

一种多晶硅生长视频监测装置，用于实时测量生长过程中的多晶硅芯直径，所述视频监测装置包括：‑摄像机，布置在多晶硅还原炉外围，其镜头对应还原炉的视窗，用于摄取硅芯图像；‑视频处理器，用于处理硅芯图像，计算硅芯直径；‑显示器，用于显示硅芯图像、硅芯直径计算值及各种数据；所述视频处理器具有：‑视频采集模块，用于采集来自摄像机的图像数据；‑存储模块，用于存储采集数据、硅芯直径计算数学模型及输出数据；‑中央处理器，用于根据图像数据、硅芯直径计算数学模型计算硅芯直径；其特征在于，所述摄像机是两台，相对于硅芯中心线左、右对称布置，当硅棒直径长到某一值后，左右相机都看不全硅棒时，左相机能看到硅棒的右边界，右相机能看到硅棒的左边界，用采集卡同时采集左、右相机各一帧图片，通过标定获得的硅棒中心在摄像机上的位置以及标定的两个硅棒直径，结合两帧图片的测量数据，用硅芯直径计算数学模型计算出硅棒的直径。