一种模块化基板载物台及其应用设备

摘要

本实用新型公开了一种模块化基板载物台，所述载物台包括：基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。本实用新型还公开了一种应用模块化基板载物台的设备，应用上述载物台和设备，使得在流水线作业的过程中基板的取送不再受到载物台的限制；如果承载模块发生损坏，可以仅对损坏的特定承载模块进行更换，这样能够降低维护的费用和复杂度；这种结构对于清洁设备内部的灰尘来说有很大的帮助，使得载物台的清理更加方便。

主权项

一种模块化基板载物台，其特征在于，所述载物台包括：基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。