用于除去有机物质的组合物和方法

摘要

提供了可用于从基质上除去有机物质的组合物和方法，所述基质例如比如微电子晶片或者平板显示器的电子器件基质。呈现了一种方法，其中向无机基质施加最小量的组合物作为涂层，藉此施加充分加热和立即用水清洗从而实现完全清除。这些组合物和方法特别适于从电子器件上除去和完全溶解正性和负性以及热固性聚合物抗光蚀剂。

主权项

用于从无机基质上清除有机树脂的组合物，包括：溶剂或者溶剂的混合物；和间苯二甲酸的金属磺酸盐、间苯二甲酸二酯的金属磺酸盐或者其组合，其中磺酸盐基团连接在芳香核上，并且金属选自锂、钠或者钾及其混合物，其重量%大于0.5%，其中溶剂选自乙二醇、二乙二醇、三甘醇、丙二醇、二乙二醇乙基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇丁基醚、二乙二醇丙基醚、乙二醇丙基醚、乙二醇丁基醚及其混合物。