发明名称 |
用于检验带有斜面的物体的方法及系统 |
摘要 |
一种检验系统和方法。该方法可以包括:用第一偏振的入射光照射物体;执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波,每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射,以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波,每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射,从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号;以及,检测基于偏振的滤波光信号。 |
申请公布号 |
CN102445418A |
申请公布日期 |
2012.05.09 |
申请号 |
CN201110293912.9 |
申请日期 |
2011.08.10 |
申请人 |
卡姆特有限公司 |
发明人 |
Z·本-埃泽尔 |
分类号 |
G01N21/21(2006.01)I;G01N21/15(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/21(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
王朝辉 |
主权项 |
一种方法,包括:用第一偏振的入射光照射物体;执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波,每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射,以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波,每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射,从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号;以及检测基于偏振的滤波光信号。 |
地址 |
以色列米格达勒埃梅克 |