发明名称 |
微机械构件和用于微机械构件的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种微机械构件,其具有至少通过弹簧(12)与保持装置(16)连接的可调元件;具有至少一个第一压阻传感器元件(76b至82b)的第一传感器装置(22),其提供关于第一机械应力的第一传感器信号,其中,所述第一压阻传感器元件(76b至82b)设置在所述弹簧(12)和/或所述弹簧(12)的固定区域上或者中;和具有至少一个第二压阻传感器元件(96b至102b)的第二传感器装置(24),其提供关于作第二机械应力的第二传感器信号,其中,所述第二压阻传感器元件(96b至102b)设置在所述弹簧(12)和/或所述弹簧(12)的固定区域上或者中。本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法。 |
申请公布号 |
CN102448872A |
申请公布日期 |
2012.05.09 |
申请号 |
CN201080023335.5 |
申请日期 |
2010.05.18 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;W·朔克;J·穆霍;Z·莱什詹 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
曾立 |
主权项 |
微机械构件,其具有保持装置(16);可调元件(14),所述可调元件至少通过一弹簧(12)与所述保持装置(16)连接;第一传感器装置(22),所述第一传感器装置具有至少一个第一压阻传感器元件(34a,34b,34c,76b至82b,76c至82c),其中,所述第一传感器装置(22)被设计用于提供关于作用到所述至少一个第一压阻传感器元件(34a,34b,34c,76b至82b,76c至82c)上的第一机械应力的第一传感器信号(U,R),其中,所述第一压阻传感器元件(34a,34b,34c,76b至82b,76c至82c)设置在所述弹簧(12)上或者中、所述弹簧(12)的与所述保持装置(16)相邻的第一固定区域上或者中和/或所述弹簧(12)的与所述可调元件(14)相邻的第二固定区域上或者中;和第二传感器装置(24),所述第二传感器装置具有至少一个第二压阻传感器元件(34a,34b,34c,96b至102b,96c至102c),其中,所述第二传感器装置(24)被设计用于提供关于作用到所述至少一个第二压阻传感器元件(34a,34b,34c,96b至102b,96c至102c)上的第二机械应力的第二传感器信号(U,R),其中,所述第二压阻传感器元件(34a,34b,34c,96b至102b,96c至102c)设置在所述弹簧(12)上或者中、所述弹簧(12)的所述第一固定区域上或者中和/或所述弹簧(12)的所述第二固定区域上或者中。 |
地址 |
德国斯图加特 |