一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统

摘要

本实用新型涉及一种用于六氟化硫(SF6)气体分解产物净化处理系统，该系统包括进气管路、活性硅胶发生池室、F-03型分子筛发生池室、活性氧化铝发生池室、5Å型分子筛发生池室和出气管路；并依次串联；进气管路上串联着控制阀门和气体过滤装置，输出管路上安装有真空泵。本实用新型采用混合型净化剂，主要用于SF6气体分解产物测试仪器的尾气处理，也可以用于SF6气体回收再生装置使用。

主权项

一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统，其特征在于：所述包括进气管路、活性硅胶发生池室(3)、第一分子筛发生池室(4)、活性氧化铝发生池室(5)、第二分子筛发生池室(6)和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室(3)、第一分子筛发生池室(4)、活性氧化铝发生池室(5)和第二分子筛发生池室(6)；所述进气管路上依次串联着控制阀门(1)和气体过滤装置(2)；所述输出管路上安装有真空泵(7)。