| 发明名称 | PECVD卸片用承载盒 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD卸片用承载盒，它包括四方形的底板（1）、垂直固定于四方形底板（1）的三条边边缘的三块侧板（2）、垂直固定于四方形底板（1）的另一条边边缘的下板（3），相对于三块侧板（2）而言下板（3）在底板（1）的另一面。三块侧板（2）的中间那块侧板（2）的内表面固定粘贴有一块泡沫板（4）。底板（1）、侧板（2）及下板（3）由塑料材料制成。该PECVD卸片用承载盒使PECVD晶片卸片速度快，卸片后整齐叠放以保证下道吸片工序顺利进行。 | ||
| 申请公布号 | CN202217698U | 申请公布日期 | 2012.05.09 |
| 申请号 | CN201120341526.8 | 申请日期 | 2011.09.13 |
| 申请人 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 发明人 | 吴艳芬;余涛;陈筑;刘晓巍;詹国平;蔡二辉 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人 | 李迎春 |
| 主权项 | 一种PECVD卸片用承载盒，其特征在于：包括四方形的底板（1）、垂直固定于四方形底板（1）的三条边边缘的三块侧板（2）。 | ||
| 地址 | 315177 浙江省宁波市鄞州区杉杉路181号 | ||