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发明名称 MULTIPLE MASK PROCESS WITH ETCH MASK STACK
摘要
申请公布号 EP1900017(A4) 申请公布日期 2012.05.09
申请号 EP20060759518 申请日期 2006.05.10
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 SADJADI, S.M., REZA
分类号 H01L21/461;H01L21/033 主分类号 H01L21/461
代理机构 代理人
主权项
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