试样的表面形状的测定方法及装置

摘要

本发明提供不对试样作用强的力而能够抑制探针的跳跃的试样的表面形状的测定方法及装置。在短时间内进行控制操作，该控制操作包括由传感器进行的被测定表面上的探针的垂直方向的位移的检测、基于探针的位移检测的探针的速度及加速度的计算、由探针的速度及加速度的至少一方的实时的监视进行的探针的跳跃的检测、对探针的针压产生装置的电流控制，仅在探针处于空中时，增大作用于探针的针压，在探针再接触试样之前使探针的针压返回原来的状态。

主权项

一种试样的表面形状的测定方法，其使探针与被测定试样的表面接触，测定被测定试样的表面形状，其特征在于，在短时间内进行控制操作，该控制操作包括由传感器进行的被测定表面上的探针的垂直方向的位移的检测、基于探针的位移的检测的探针的速度及加速度的计算、由探针的速度及加速度的至少一方的实时的监视进行的探针的跳跃的检测、对探针的针压产生装置的电流控制，仅在探针处于空中时，增大作用于探针的针压，在探针再接触试样之前使探针的针压返回原来的状态。