曝光设备

摘要

本实用新型公开了一种曝光设备，该设备包括相对设置的曝光台与母板安装组件，母板安装组件包括：母板框架，具有环形结构；环形衬板，与母板框架连接，呈与母板框架相匹配的环形结构；母板，设置在母板框架中，且位于环形衬板与曝光台之间；气浮系统，将母板吸附在环形衬板上。本实用新型的有益效果：本实用新型所提供的曝光设备通过引入气浮系统，将母板固定在母板框架中，避免了旧有固定方式所引起的不利因素，提高了设备的自动化和智能化程度，使安全系数大幅提高，延长了曝光设备的使用寿命；同时，该曝光设备还配备有自动测平和调平装置，保证了曝光台与母板之间平行，提高了曝光精度，使线条更加均匀。

主权项

曝光设备，其特征在于，包括相对设置的曝光台(5)与母板安装组件，所述母板安装组件包括：母板框架(1)，具有环形结构；环形衬板(4)，与所述母板框架(1)连接，呈与所述母板框架(1)相匹配的环形结构；母板(2)，设置在所述母板框架(1)中，且位于所述环形衬板(4)与所述曝光台(5)之间；气浮系统，将所述母板(2)吸附在所述环形衬板(4)上。