| 发明名称 | 线放电加工装置及方法、半导体晶片制造装置及方法、太阳能电池晶片制造装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明的线加工方法，实现该方法的装置具备：相互隔开地并列设置、形成将规定区域部分与被加工物(8)相对的切断线部(2a)的并列的线电极(2)；发生脉冲状的加工用电压的加工电源(6)；对于多个切断线部(2a)的各个，与该切断线部(2a)的线电极(2)电气连接，在切断线部(2a)和被加工物(8)之间分别施加加工用电压的多个馈电器单元(71、72)，馈电器单元(71、72)配设为使得并列的多个切断线部(2a)中，至少一部分切断线部(2a)中通电的电流方向不同于其他切断线部(2a)中通电的电流方向。 | ||
| 申请公布号 | CN102066031B | 申请公布日期 | 2012.05.09 |
| 申请号 | CN200980122496.7 | 申请日期 | 2009.06.16 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 三宅英孝;佐藤达志 |
| 分类号 | B23H7/02(2006.01)I;B23H7/10(2006.01)I | 主分类号 | B23H7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 许海兰 |
| 主权项 | 一种线放电加工装置，其特征在于，具备：线电极，形成相互隔开地并列设置而且与被加工物相对设置的切断线部；加工用电源，发生脉冲状的加工用电压；以及多个馈电器单元，相对于多个所述切断线部的各个，与该线电极电气连接，在所述切断线部和所述被加工物之间分别施加所述加工用电压，所述馈电器单元配设为使得在并列的多个所述切断线部中，至少一部分切断线部中通电的电流方向不同于其他切断线部中通电的电流方向。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||