发明名称 |
吸附台 |
摘要 |
本发明提供一种使用多孔质板的吸附台,其可确实地确认是否可获得固定基板所需的吸附力。该吸附台具备:台本体(13),其是由以多孔质板形成且载置基板的载台(11)、与支承载台的周缘部分的底座(12)构成,且形成中空空间(14);真空排气机构(17),其对中空空间进行减压;及压力感测器(31),其检测中空空间的压力;在载台上载置基板的位置,形成贯通多孔质板并到达中空空间的细孔(33),当载置有基板时会产生较大的差压且可由压力感测器进行检测。 |
申请公布号 |
CN102446800A |
申请公布日期 |
2012.05.09 |
申请号 |
CN201110290659.1 |
申请日期 |
2011.09.21 |
申请人 |
三星钻石工业股份有限公司 |
发明人 |
冈岛康智 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;B23Q3/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种吸附台,其特征在于具备:台本体,其是由以多孔质板形成且载置基板的载台、与支承该载台的周缘部分的底座构成,且以内部形成中空空间并且该载台的背面面向该中空空间的方式构成;真空排气机构,其对该中空空间进行减压;及压力感测器,其检测该中空空间的压力;在该载台上载置基板的位置,形成贯通多孔质板并到达中空空间的细孔。 |
地址 |
日本大阪府吹田市南金田2丁目12番12号 |