扭摆式角速率陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，整个机械结构通过第一组水平扭杆与第一固定基座连接，通过第二组水平扭杆与第二固定基座连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座布置在第一横梁的下面，第二固定基座布置在第二横梁的上面；两组水平扭杆均在XY平面内；第一组扭杆中的第一、第三扭杆和第二组扭杆中的第四、第六扭杆沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆和第二组扭杆中的第五扭杆沿Y轴方向布置。本实用新型减少了干扰模态的数目，降低了加工精度的影响，提高了陀螺仪的灵敏度和稳定性。

主权项

一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，其特征在于：整个机械结构通过第一组水平扭杆（2a、2b、2c）与第一固定基座（1a）连接，通过第二组水平扭杆（2d、2e、2f）与第二固定基座（1b）连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座（1a）布置在第一横梁（3a）的下面，第二固定基座（1b）布置在第二横梁（3b）的上面；两组水平扭杆（2a、2b、2c、2d、2e、2f）均在XY平面内; 第一组扭杆中的第一、第三扭杆（2a、2c）和第二组扭杆中的第四、第六扭杆（2d、2f）沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆（2b）和第二组扭杆中的第五扭杆（2e）沿Y轴方向布置。