| 发明名称 | 双组分蚀刻 | ||
| 摘要 | 本发明的目标是一种可喷墨印刷的新型蚀刻组合物，其包含通过第二组分活化的蚀刻剂。因此，进一步的目的是该新的组合物在用于蚀刻半导体器件表面或太阳能电池器件表面的方法中的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN102449112A | 申请公布日期 | 2012.05.09 |
| 申请号 | CN201080023477.1 | 申请日期 | 2010.05.12 |
| 申请人 | 默克专利股份有限公司 | 发明人 | O·多尔;E·普鲁默;M·詹姆斯;I·科勒 |
| 分类号 | C09K13/08(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 邓毅 |
| 主权项 | 可喷墨的组合物，其包含由蚀刻剂和使得蚀刻剂惰性且生成不带电配合物的第二组分组成的配合物。 | ||
| 地址 | 德国达姆施塔特 | ||