单晶硅切片中所用得粘胶设备

摘要

本发明涉及一种单晶炉的粘胶的设备，为了便于处理左侧工件板上的胶水，在靠山上切割出缺口，在粘胶过程中处理晶棒两侧工件板上因粘胶溢出的胶水将更加方便。本发明的运用更方便在粘胶过程中处理晶棒两侧工件板上因粘胶溢出的胶水，使得晶棒表面更光洁。晶棒表面残留胶在切片时易产生跳线，引起厚薄片，残留胶在在进入主辊后更可能提高断线率。此技术的改进不仅解决了以上残留胶在残片时产生的不利影响，更方便于检片时对硅片残留胶的处理，提高工作效率，更提高切片的成品率。

主权项

一种单晶炉的粘胶的设备，由粘胶靠山、晶棒、胶水、工件等组成，其特征在于在靠山上切割出缺口。