一种微波退火形成镍硅化物的方法

摘要

本发明公开了一种微波退火形成镍硅化物的方法：对暴露的硅表面进行预清洗，除去自然氧化物；沉积镍或者镍合金，在其表面覆盖一层阻挡层；将晶片加热至第一温度的过程中同时使用微波辐射，使镍或者镍合金的一部分与硅反应形成高电阻的一硅化二镍；移除镍或者镍合金的表面的阻挡层和未反应的镍或者镍合金；将晶片加热至第二温度的过程中同时使用微波辐射，使高电阻一硅化二镍转化为低电阻的硅化镍。本发明在加热的同时使用微波对硅片表面进行辐照，提高原子运动的活性，促进原子重新排列；降低了加热的第一温度，对镍的第一步扩散进行限制；在第二温度基础上提高原子运动的活性，促进原子重新排列，有助于改善硅化镍的均匀性，提高器件的性能。

主权项

一种微波退火形成镍硅化物的方法，其特征在于，包括下列步骤：对暴露的硅表面进行预清洗，除去自然氧化物；在清洗后的硅表面上沉积镍或者镍合金，在镍或者镍合金的表面覆盖一层阻挡层；将晶片加热至第一温度的过程中，同时使用微波辐射，使镍或者镍合金的一部分与硅反应形成高电阻的一硅化二镍；移除镍或者镍合金的表面的阻挡层和未反应的镍或者镍合金；将晶片加热至第二温度的过程中，同时使用微波辐射，使所述高电阻一硅化二镍转化为低电阻的硅化镍。