一种用于测定围绕三个相互垂直的坐标X、Y与Z中至少一个坐标旋转运动的微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种用于测定围绕三个相互垂直的坐标X、Y与Z中至少一个坐标旋转运动的微陀螺仪，所述微陀螺仪具有一个衬底（1）、多个驱动元件（4a，4b）与多个传感器元件，在所述衬底上设置有多个可以在x-y平面中平行于衬底（1）平面振动的质量块（2x，2y，9），其中几个振动质量块（2x，2y）通过弹簧与紧固销固定在衬底（1）上，所述驱动元件用于维持质量块（2x，2y，9）的线性振动，当衬底（1）围绕任意一个坐标旋转时，这些质量块会受到科氏力的作用，所述传感器元件可以测定由于产生的科氏力所导致的质量块（2x，2y，9）的偏转，一些x-振动质量块（2x）还可以沿着垂直于衬底（1）的z-坐标偏转，从而测定围绕x-坐标的旋转率，和/或，一些y-振动质量块（2y）还可以沿着垂直于衬底（1）的z-坐标偏转，从而测定围绕y-坐标的旋转率，和/或，其它z-振动质量块（9）还可以在x-y平面中垂直于各自的驱动方向偏转，从而测定围绕z-坐标的旋转率。

主权项

用于测定围绕三个相互垂直的坐标X，Y与Z中至少一个坐标旋转运动的微陀螺仪，‑ 具有一个衬底（1），在所述衬底上设置有多个可以在x‑y平面中平行于衬底（1）平面振动的质量块（2x，2y，9），其中几个振动质量块（2x，2y）通过弹簧与紧固销固定在衬底（1）上，‑ 具有多个驱动元件（4a，4b）用于维持质量块（2x，2y，9）的线性振动，当衬底（1）围绕任意一个坐标旋转时，这些质量块会受到科氏力的作用，并且‑ 具有多个传感器元件，所述传感器元件可以测定由于产生的科氏力所导致的质量块（2x，2y，9）偏转，其特征在于， ‑ 在衬底（1）上设置有一个中心紧固销（3），围绕中心紧固销（3）设置有多个质量块（2x，2y，9），‑ 一些x‑振动质量块（2x）还可以沿着垂直于衬底（1）的z‑坐标偏转，从而测定围绕x‑坐标的旋转率，和/或 ‑ 一些y‑振动质量块（2y）还可以沿着垂直于衬底（1）的z‑坐标偏转，从而测定围绕y‑坐标的旋转率，和/或，‑ 其它z‑振动质量块（9）还可以在x‑y平面中垂直于各自的驱动方向偏转，从而测定围绕z‑坐标的旋转率，‑ x‑质量块（2x）和y‑质量块（2y）与中心紧固销（3）相连，z‑质量块（9）与x‑质量块（2x）或y‑质量块（2y）相连，‑ x‑与y‑质量块（2x，2y）通过如下方式支承在衬底（1）上，即，质量块可以围绕中心紧固销（3）线性切向驱动。