发明名称 |
用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法。载片台倾斜检测设备包括承托板,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽。本发明的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法,可有效检出倾斜程度较小的载片台倾斜制品,对载片台倾斜制品进行纠正后判定合格与否,进而提高产品合格率、减少塑封后外观检验的劳动强度。 |
申请公布号 |
CN102445188A |
申请公布日期 |
2012.05.09 |
申请号 |
CN201110281645.3 |
申请日期 |
2011.09.21 |
申请人 |
南通富士通微电子股份有限公司 |
发明人 |
许海渐 |
分类号 |
G01C9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01C9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市惠诚律师事务所 11353 |
代理人 |
雷志刚;潘士霖 |
主权项 |
一种用于检测载片台框架中的载片台的倾斜检测设备,其特征在于:包括承托板,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽;多个载片台检测槽的间距与载片台框架中各载片台的间距相同,且每个载片台检测槽的深度大于载片台的倒角或圆弧的高度。 |
地址 |
226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 |