硅微角振动输出陀螺仪

摘要

本实用新型涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本实用新型采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。

主权项

一种硅微角振动输出陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，其特征在于：陀螺仪的机械结构由两个相同的子结构[100、200]左右对称布置，两个子结构[100、200]通过质量块连接机构[6]相互连接，质量块连接机构[6]由两个连接杆[6a、6b]和一个连接框[6c]构成，两个连接杆[6a、6b]的一端分别与连接框[6c]连接，另一端连接两个子结构[100、200]；整个机械结构通过第一组水平扭杆[2a、2b、2c、2d]与第一固定基座[1a]连接，通过第二组水平扭杆[2e、2f、2g、2h]与第二固定基座[1b]连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；两组水平扭杆[2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h]均在XY平面内。