检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置

摘要

本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

主权项

一种检测透明板体内部的微小异物的方法，是通过检测亮点进行检测的方法，该亮点是由于照射了存在于透明板体内部的微小异物的光束的散射而产生的，该透明板体具有均匀的折射率且具有恒定的厚度，其特征在于，使光束相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束I和由该内部光束I在透明板体表面反射而成的内部光束II，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物由上述内部光束I照射而产生的亮点和由上述内部光束II照射而产生的亮点，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置，通过对比上述2个亮点的光强度，进一步判断微小异物的种类。