工件台垂向位置测量系统

摘要

本发明提出一种工件台的垂向位置测量系统，包括两个角反射镜、两个光束产生/探测装置。两个角反射镜分别安装在工件台的x向的两侧，包括连接成直角的两片反射镜片。两个光束产生/探测装置分别发出光束照射两个角反射镜，并探测角反射镜所反射的光束。两个光束产生/探测装置安装在工件台的基准位置上，根据公式得到工件台的z向位置，其中k为工件台的x向宽度，(x0，y0)为工件台的当前位置，z1、z2分别为第一光束产生/探测装置和第二光束产生/探测装置测得的工件台的z向位置。本发明提出的工件台的垂向位置测量系统利用角反射镜对光线进行反射，误差小，节省测试时间。

主权项

一种工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，包括：第一角反射镜和第二角反射镜，分别安装在所述工件台的x向的两侧，所述第一角反射镜和第二角反射镜包括两片反射镜片，所述两片反射镜片连接成直角；第一光束产生/探测装置，对应于所述第一角反射镜的位置，用以产生光束至所述第一角反射镜，并且探测由所述第一角反射镜所反射的光束；第二光束产生/探测装置，对应于所述第二角反射镜的位置，用以产生光束至所述第二角反射镜，并且探测由所述第二角反射镜所反射的光束，所述第一光束产生/探测装置和第二光束产生/探测装置安装在所述工件台的基准位置上，不随该工件台移动。