| 发明名称 | 电镀装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了电镀装置，以提高电镀溶液内气泡检测的效率，降低检测时间，电镀装置包括电镀槽，还包括显色辅助装置，所述显色辅助装置能够发出一种或多种光线，所述光线能够照射在电镀槽内的电镀溶液及该溶液内的气泡上，以使得在所述光线照射后，该溶液的颜色及气泡的颜色能够区别开。 | ||
| 申请公布号 | CN102443835A | 申请公布日期 | 2012.05.09 |
| 申请号 | CN201010508089.4 | 申请日期 | 2010.10.15 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 | 发明人 | 谢诚;罗灿;方文勇;曾海 |
| 分类号 | C25D17/00(2006.01)I | 主分类号 | C25D17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种电镀装置，包括电镀槽，其特征在于，还包括显色辅助装置，所述显色辅助装置能够发出一种或多种光线，所述光线能够照射在电镀槽内的电镀溶液及该溶液内的气泡上，以使得在所述光线照射后，该溶液的颜色及气泡的颜色能够区别开。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||