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经营范围
发明名称
Polysilicon CVD reactor and Method for metallizing polysilicon using the CVD reactor
摘要
申请公布号
KR101142442(B1)
申请公布日期
2012.05.08
申请号
KR20100029974
申请日期
2010.04.01
申请人
发明人
分类号
H01L31/18;H01L21/205
主分类号
H01L31/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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