| 发明名称 |
INSPECTION METHOD FOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120044374(A) |
申请公布日期 |
2012.05.07 |
| 申请号 |
KR20127005470 |
申请日期 |
2010.07.07 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
WANG JIUN CHENG;VAN HAREN RICHARD;VAN DER SCHAAR MAURITS;LEE, HYUN WOO;REINER JUNGBLUT |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/20;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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